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德?tīng)柈a(chǎn)品

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四氟化碳(電子級(jí))

發(fā)布時(shí)間:2019-08-24 | 游覽:16367

產(chǎn)品名稱氣體純度氣瓶規(guī)格閥門充裝量(Kg)保質(zhì)期
CF499.999%DOT47LCGA580/CGA320/DISS716322年
DOT440LDISS7163002年
備注:可按客戶要求定制包裝規(guī)格


四氟化碳是一種無(wú)色、無(wú)臭、不燃的可壓縮惰性氣體。它是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。 在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。

電子級(jí)四氟化碳技術(shù)指標(biāo):

包裝容器:規(guī)格齊全,按客戶要求配置。